Elektretwandler

Elektrete sind Materialien mit guter Eignung als permanente Ladungsspeicher. Bisher in der Mikrosystemtechnik bekannte Elektret-Materialien umfassen Siliziumnitrid, Siliziumoxid sowie Teflon. Unsere Arbeiten konzentrieren sich auf die neuen vielversprechenden Polymere Cytop und PDMS, wobei sich Cytop gleichzeitig als robustes Aufbau- und Verbindungsmaterial bzw. als weichelastisches Material für mechanische Strukturkomponenten eignen. Die Elektretstrukturen werden mit Elektroden und Gegenelektroden auf mikromechanische Resonatoren integriert, welche durch externe Vibrationen in Schwingung versetzt werden. Dadurch lässt sich aus der externen Bewegung Energie gewinnen. Je nach Anwendungsszenario sind ein- oder mehrdimensionale Schwinger von Vorteil. Benötigte Resonanzfrequenzen für Anwendungen am bewegten menschlichen Körper liegen im Bereich von einigen Hz bis wenigen 100 Hz.