Gebäude und Reinraum
Der Reinraum im Technologiegebäude 104 erstreckt sich über eine rund 600 Quadratmeter große Fläche, die mit
variablen Wandelementen in einzelne Weiß- und dazwischenliegende
Grauräume aufgeteilt ist. Mittels einzeln ansteuerbarer
Filter-Ventilator-Einheiten, die in frei wählbare Deckenfelder eingebaut
sind, ist es möglich, die Reinraumklasse im Bereich von 4 bis 7 (nach
DIN EN ISO 14644) für jeden Raum individuell einzustellen.
Der eigentliche Reinraum wird durch ein sogenanntes Bypack ergänzt,
in dem die Grundversorgung für Druckluft, Stickstoff, Reinstwasser,
Kühlwasser, Elektro und Vakuum untergebracht ist. Von dort werden auch
explosive, selbstentzündliche oder giftige Sondergase an die einzelnen
Anlagen verteilt. Zusätzlich beherbergt der Raum die Entsorgung für
konzentrierte Chemikalien und ein Abwassersystem mit angeschlossener
Neutralisationsanlage.
Wie Sie Zutritt zum Reinraum erhalten, können Sie in unserem Doku-Wiki nachlesen.