Projekte
Charakterisierung von Dünnfilm-Materialien
Projektbeschreibung
Wir untersuchen das mechanische Verhalten von dielektrischen Dünnfilm-Schichten, die in MEMS- und CMOS-Technologien zum Einsatz kommen, mit Hilfe eines Wafer-basierten Bulge-Tests.
Laufzeit
01.08.2006 bis 31.07.2007
Projektleitung
Prof. Dr. Oliver Paul
Ansprechpartner/in
Prof. Dr. Oliver Paul
Telefon:+49 761 203 7191
E-Mail:paul@imtek.de
Finanzierung
infineon Technologies AG