Projekte
Fertigungsprozesse zur Bestimmung von bruchmechanischen Eigenschaften dünner Polysiliziumschichten
Projektbeschreibung
Aufbauend auf unserem Wafer-basierten Mikrozugversuch realisieren wir MEMS-Strukturen zur Ermittlung der bruchmechanischen Eigenschaften dünner Polyisiliziumschichten, die in einem Niederdruck-Gasphasen-Abscheideprozess auf Siliziumwafern aufgebracht und mittels reaktivem Ionenätzens strukturiert wurden.
Laufzeit
14.12.2010 bis 15.03.2011
Projektleitung
Prof. Dr. Oliver Paul
Ansprechpartner/in
Prof. Dr. Oliver Paul
Telefon:+49 761 203 7190
E-Mail:paul@imtek.de
Finanzierung
Nagoya Institute of Technology (NIT), Japan