Projekte
Teststrukturen für Epipoly-Schichten
Projektbeschreibung
Wir entwickelt und fertigen MEMS-basierte Teststrukturen zur mechanischen Charakterisierung von dünnen Polysiliziumfilmen mit Hilfe eines Mikrozugversuchs.
Laufzeit
18.08.2006 bis 15.11.2008
Projektleitung
Prof. Dr. Oliver Paul
Ansprechpartner/in
Prof. Dr. Oliver Paul
Telefon:+49 761 203 7191
E-Mail:paul@imtek.de
Finanzierung
Robert Bosch GmbH