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Thin-film characterization

Project description

We analyse the mechanical behaviour of dielectric thin-film materials used in MEMS and CMOS technologies applying a wafer-level bulge test.

Start/End of project

01.08.2006 until 31.07.2007

Project manager

Prof. Dr. Oliver Paul

Contact person

Prof. Dr. Oliver Paul
Phone:+49 761 203 7191


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