Projekte
ELSA Grind - ELID unterstütztes Schleifen dünner, mikrostrukturierter Saphir-Wafer; Simulation, Design, Entwurf und Mikrostrukturierung akustischer transversal polarisierter Scherwellenresonatoren auf ELID-prozessierten Saphir-Wafer
Projektbeschreibung
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Laufzeit
01.12.2007 bis 30.11.2009
Projektleitung
Leonhard Reindl
Ansprechpartner/in
Leonhard Reindl
Telefon:0761 203 7221
E-Mail:reindl@imtek.uni-freiburg.de
Kooperationspartner
Azzurro Semiconductors AG Magdeburg,G&N GmbH Erlangen, FH Deggendorf
Finanzierung
Arbeitsgemeinschaft industrieller Forschungsvereinigungen e. V. (AiF)